光デバイス関連設備

光学関連装置

ドラフトチャンバー

ウェーハ洗浄?電極剥離作業

マスクアライナー

フォトリソグラフィ(ミクロンオーダーのパターニング)

スパッタ装置(蒸着装置)

金属薄膜形成

段差測定器

レジスト膜厚、金属薄膜膜厚測定

自動線幅測定器

電極幅、周期分極デューティー測定

分極反転装置

高電界印加による周期分極構造製造

アニール(ベイク)オーブン

分極反転後の歪み除去処理? (~500℃まで)

クリーンルーム

クラス1000

レーザースポット溶接機

光軸アライメント固定

シーム溶接機

パッケージング

◆上記装置を用いた各種プロセスや測定サービスも承ります。ご相談下さい。

光デバイス計測?評価装置

長期信頼性評価装置

非線形波長変換デバイスの長期信頼性評価

光導波路評価装置

QPM(PPMgLN)導波路の位相整合波長、変換効率、導波モードの評価

ロスプロ

NOVAWAVE社製 LossProシステム。デバイスのロス評価(1064、532、355nm)

PCI 測定装置

Stanford Photothermal Solution社製PCI-3システム。結晶材料やウエハのレーザ吸収評価(1064、532nm)
PCI 測定装置 詳細

♦委託測定サービス?装置入販売も対応いたします。詳細はご相談下さい。

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