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Model 真空紫外パルス114nm(11eV)レーザ
光子エネルギー 10.897 eV(113.785 nm)
パルス幅 UV-2:< 50 psec、UV-3:< 20 psec
繰り返し率 UV-2:< 0.5?5 MHz、UV-3:< 50 MHz
平均出力 5.7×10E12 フォトン/秒
偏光 リニア/水平
ビームサイズ(サンプル) < 0.25 mm FWHM
ビーム高さ < 4.00 “(101.6 mm)
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